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束流轰击角度与材料解吸特性关系研究
谢文君;蒙峻;罗成;杨伟顺;焦纪强;柴振;刘建龙;李超;
针对材料解吸导致的真空劣化问题，重点研究了轰击角度与材料解吸率的关联机制。通过自主研发可调角度的多样靶材解吸率测试装置，采用143 KeV/u Bi32
页码：（1087-1094）
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同步辐射真空紫外光束线气体滤波池差分孔的结构对分子束流和真空度的影响
范海涛;何子阳;刘成园;赵龙;潘洋;许鸣皋;杨玖重;王旭迪;
同步辐射真空紫外气体滤波池通过填充氩气对高次谐波进行吸收，可有效消除高次谐波对实验的影响。但由于严重的气体束流效应，C-7真空腔的真空度
页码：（1077-1086）
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EAST装置低Z材料粉末注入系统振动与流量控制研究
朱运;徐伟;左桂忠;汪哲;管艳红;元京升;黄明;胡建生;
在磁约束核聚变全超导托卡马克（EAST）等离子体放电中，通过实时低Z粉末材料注入可以进行实时壁处理，有效地控制来自第一壁的杂质和燃料粒子再循
页码：（1068-1076）
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基于PIC/MCC模型与溅射模型的直流磁控溅射工艺仿真
江璐萍;温慧;张权治;
磁控溅射作为一种高效、可控的物理气相沉积技术，广泛应用于大面积镀膜。研究采用粒子/蒙特卡洛模型模拟直流平面磁控放电过程，并结合基于蒙特
页码：（1057-1067）
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CFEDR ICRH天线窗口插件结构设计和热流分析
邓羽佳;秦成明;周能涛;李定真;
中国聚变工程示范堆（China Fusion Engineering Demonstration Reactor,CFEDR）主要的目标是完成从国际热核聚变实验堆（International Thermonuclear Experimental Reactor，简称I
页码：（1048-1056）
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紫外辐照对聚酰亚胺薄膜放气率的影响
周瑞安;张腾巍;宋仕涵;王旭迪;
真空系统中材料的放气率是影响其真空度的关键因素。聚酰亚胺（PI）因其优异性能广泛应用于真空领域，但其表面和内部会吸附溶解大量气体，导致未
页码：（1031-1036）
期刊简介
《真空科学与技术学报》(http://cjvst.cvs.org.cn) 是由中国真空学会主办，中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物，被中国科技核心期刊目录、北大核心期刊目录、Scopus数据库收录，是中国科学引文数据库来源期刊。学报刊发真空获得、改进、检测、应用的中文及英文研究论文，涉及物理、化学、工程、材料、生物等多学科的交叉。2025年1月，学报成立第十届编委会，现任主编为东北师范大学刘益春院士。50人的编委队伍有两院院士5人，国家级领军人才30余人，真空相关企业界代表10余人，具有广泛的代表性。
期刊栏目：综述评述、研究快报、研究论文、科普专栏、技术交流
期刊信息
中文名称：真空科学与技术学报
杂志社官网：https://ZKKX.cbpt.cnki.net
英文名称：Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名：真空科学与技术
创刊时间：1981
出版周期：月刊
国内刊号：0.738
国内刊号：0.511
版面费：/
能否加急发布：2
开本：大16开
出版地：北京市
总下载次数：1201445
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基金文献量：3169
出版文献量：6069
平均出版时滞：145.9772
WJCI分区：Q4
收录结束年：2025